پیزو موتورها، موتورهایی خطی با رزولوشون و دقت حرکتی بالاهستند . کورس حرکتی بالا از ویژگی های این محصول نسبت به سایر محصولات موقعیت دهی دقیق می باشد.
در موتور های پیزوالکتریک عملگر پیزوالکتریک با فرکانسی از مرتبه 20 کیلوهرتز نوسان می کند. این حرکت از طریق یک سازه که متناسب با فرکانس طراحی شده به جسم هدف منتقل می شود.
در نتیجه در هر سیکل نوسان جسم حرکتی میکرومتری به جلو یا عقب انجام می دهد. همچنین این موتورها قادرند در مود حرکت استاتیک با فرآیندی مشابه سکوهای پیزوالکتریک (جابجاگر های پیزو الکتریک) به دقتی فراتر از نانومتر دست یابند.
